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          新一轮集成电路产业竞争乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网,设备材料成焦点

          2021-09-30

          新华财经上海9月19日电(记者 杨有宗) 集成电路产业是高端制造业的典型代表乐鱼app|乐鱼app下载|官网,在眼下乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网,更是城市能级和核心竞争力的重要支撑乐鱼app|乐鱼app下载|官网。经过多年发展乐鱼app|乐鱼app下载|官网,我国集成电路产业实现大发展乐鱼app|乐鱼app下载|官网,14纳米先进工艺规模量产乐鱼app|乐鱼app下载|官网,5纳米刻蚀机乐鱼app|乐鱼app下载|官网、12英寸大硅片乐鱼app|乐鱼app下载|官网、国产CPU、5G芯片等技术产品打破垄断乐鱼app|乐鱼app下载|官网。业内专家表示,相比于投资铺产线乐鱼app|乐鱼app下载|官网,集成电路设备领域投资或将成为新一轮产业角逐的焦点。


          “芯片热”与“设备冷”

          5纳米约为头发丝直径的一万五千分之一乐鱼app|乐鱼app下载|官网。经过多年自主研发乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网,创立于上海的中微公司生产的刻蚀机已跻身国际第一梯队乐鱼app|乐鱼app下载|官网,用于5纳米等先进工艺芯片量产乐鱼app|乐鱼app下载|官网。

          在刚刚结束的第二届中国(上海)自贸区临港新片区半导体产业发展高峰论坛上乐鱼app|乐鱼app下载|官网,中微半导体设备(上海)股份有限公司董事长尹志尧说,“半导体设备公司不仅仅是集成电路的供应商和产业链乐鱼app|乐鱼app下载|官网,更是集成电路制造最核心的部分乐鱼app|乐鱼app下载|官网±钟鉧pp|乐鱼app下载|官网!?/p>

          相比于眼下的芯片热潮乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网,尹志尧认为,集成电路设备领域是被忽视的一方面?!肮谀壳暗男酒?,还是侧重大量投资乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网,大量购买国外的设备和材料乐鱼app|乐鱼app下载|官网,上万亿元的投资,70%用来购买设备乐鱼app|乐鱼app下载|官网?!?/p>

          尹志尧告诉记者乐鱼app|乐鱼app下载|官网,目前国内芯片的生产线上乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网,国产设备只占7%到10%左右乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网,离实现设备和材料大量本土化还差得很远乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网。

          随着半导体工艺的进步乐鱼app|乐鱼app下载|官网,如闪存从2D时代走向3D时代,尹志尧认为乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网,刻蚀设备的参与占比将从过去的约20%乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网,上升至40%至50%乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网±钟鉧pp|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网!按娲⑿酒?D到3D演变乐鱼app|乐鱼app下载|官网、先进逻辑芯片的等离子刻蚀步骤大幅增加乐鱼app|乐鱼app下载|官网,这两大因素给刻蚀机和薄膜设备带来更大机遇乐鱼app|乐鱼app下载|官网?!?/p>

          相比于刻蚀机乐鱼app|乐鱼app下载|官网,集成电路设备领域另一产品光刻机更受到各方关注乐鱼app|乐鱼app下载|官网。中科院院士刘明说乐鱼app|乐鱼app下载|官网,在没有EUV光刻机的情况下乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网,先进封装是发展自主高端芯片的必由之路乐鱼app|乐鱼app下载|官网。

          从学界观察出发乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网,刘明认为,在同等工艺节点下乐鱼app|乐鱼app下载|官网,采用先进封装工艺进行集成乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网,可以起到“相当于一代技术进步”的效果乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网。因此乐鱼app|乐鱼app下载|官网,她建议乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网,若要发展高性能芯片乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网,则需要关注先进封装乐鱼app|乐鱼app下载|官网。

          第三代半导体重构产业生态

          随着5G乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网、新能源汽车乐鱼app|乐鱼app下载|官网、光伏等行业快速发展,我国半导体行业发展迎来重要节点,其中乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网,第三代半导体需求持续升温乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网,碳化硅等第三代半导体材料持续受到资本市场关注。业内专家认为乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网,这或将在一定程度上重构产业生态。

          第三代半导体材料是指以碳化硅乐鱼app|乐鱼app下载|官网、氮化镓为代表的宽禁带半导体材料乐鱼app|乐鱼app下载|官网,与前两代半导体材料相比乐鱼app|乐鱼app下载|官网,第三代半导体材料禁带宽度大乐鱼app|乐鱼app下载|官网,具有击穿电场高、热导率高、电子饱和速率高乐鱼app|乐鱼app下载|官网、抗辐射能力强等优势乐鱼app|乐鱼app下载|官网。

          同为第三代半导体材料乐鱼app|乐鱼app下载|官网,上海瞻芯电子科技有限公司创始人张永熙解释说乐鱼app|乐鱼app下载|官网,碳化硅在部分高功率密度应用场景具有一定优势乐鱼app|乐鱼app下载|官网,而氮化镓则在小功率更高频应用场景更有优势乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网。他预测,未来5年到10年,碳化硅的应用成本会降至目前硅基的同等水平。

          新的产业生态对于行业内材料乐鱼app|乐鱼app下载|官网、设备乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网、工艺等都提出新的要求。

          上海新昇董事长李炜说乐鱼app|乐鱼app下载|官网,目前全球半导体硅片预期使用量已达到每月700万片乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网,尤其是12英寸大硅片供不应求乐鱼app|乐鱼app下载|官网。目前乐鱼app|乐鱼app下载|官网,国内只有少数企业实现了12英寸大硅片的规?;坎?。

          着眼于新的产业生态,在装备材料方面乐鱼app|乐鱼app下载|官网,上海提出乐鱼app|乐鱼app下载|官网,“十四五”期间加强装备材料创新发展乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网,突破光刻设备乐鱼app|乐鱼app下载|官网、刻蚀设备乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网、薄膜设备、离子注入设备乐鱼app|乐鱼app下载|官网、湿法设备乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网、检测设备等集成电路前道核心工艺设备乐鱼app|乐鱼app下载|官网。

          EDA软件被称为“芯片之母”乐鱼app|乐鱼app下载|官网。北京华大九天董事长刘伟平说乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网,针对模拟芯片乐鱼app|乐鱼app下载|官网,目前华大九天EDA全流程工具可以在电路仿真上支持最先进的5纳米制程乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网。针对数字芯片,除个别工具以外均可达到国际领先水平,可以支持5纳米制程。

          CMOS图像传感器领域龙头企业之一的格科微日前对外发布乐鱼app|乐鱼app下载|官网,其位于上海自贸区临港新片区的12英寸CIS集成电路特色工艺研发与产业化项目顺利封顶乐鱼app|乐鱼app下载|官网?!拔思涌旄叨瞬费蟹⑺俣壤钟鉧pp|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网,我们必须自建工厂来做特色工艺的研发?乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网!备窨莆⒌缱樱ㄉ虾#┯邢薰径鲁ぜ媸紫葱泄僬粤⑿滤?。

          区域发力集成电路产业 如何做出特色?

          当前乐鱼app|乐鱼app下载|官网,全国不少城市乐鱼app|乐鱼app下载|官网、部分区域都将集成电路产业作为重点发展产业之一乐鱼app|乐鱼app下载|官网。不同区域该如何做出特色乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网,形成自己的优势乐鱼app|乐鱼app下载|官网?

          对于上海自贸区临港新片区来说乐鱼app|乐鱼app下载|官网,其优势在于全产业链乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网?!白?019年8月临港新片区揭牌以来乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网,新片区集成电路产业呈现了爆发式的增长态势乐鱼app|乐鱼app下载|官网,目前亿元以上规模集成电路企业在临港新片区已经集聚100多家乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网,遍及集成电路的芯片设计乐鱼app|乐鱼app下载|官网、设备制造乐鱼app|乐鱼app下载|官网、关键材料、封装测试等各个领域乐鱼app|乐鱼app下载|官网?!鄙虾A俑劬梅⒄梗牛┯邢薰镜澄笔榧?乐鱼app|乐鱼app下载|官网、副总裁翁恺宁说乐鱼app|乐鱼app下载|官网。

          在翁恺宁看来乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网,上海处在开放最前沿也是其优势之一乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网±钟鉧pp|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网!拔颐腔菇煤醚笊教厥獗K扒傻缏方谖锪先K凹喙苷呃钟鉧pp|乐鱼app下载|官网,探索研发+设计+制造+封测全产业链保税模式。建设辐射全国乐鱼app|乐鱼app下载|官网、扩展到亚太地区的集成电路设备支持服务中心和零部件耗材等仓储配送中心乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网±钟鉧pp|乐鱼app下载|官网!?/p>

          临港新片区提出乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网,力争到“十四五”末,临港新片区集成电路产业规模突破1000亿元乐鱼app|乐鱼app下载|官网,占到上海全市五分之一乐鱼app|乐鱼app下载|官网。

          临港新片区管理委员会高新产业和科技创新处处长张彤说乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网,“临港新片区将重点聚焦EA、大硅片乐鱼app|乐鱼app下载|官网、抛光片等国产规?乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网;娲?,聚焦光刻胶、光刻机乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网、先进制程特殊工艺乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网、第三大化合物等卡脖子环节实现国产突破,与张江一起打造上海集成电路产业双核驱动格局,形成全产业链集聚的东方芯港基本框架乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网乐鱼app|乐鱼app下载|官网?!?/p>


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